29ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷¼ºÀº À̳¯ ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ ÇٽɼÒÀçÀÎ ºÒȼö¼Ò ¼öÃâ 1°ÇÀ» ½ÂÀÎÇß´Ù. ¼öÃâÇã°¡¸¦ ¹ÞÀº ºÒȼö¼Ò´Â ±¹³» »ý»êÀÌ ¾î·Á¿î °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ¼ö¿ä±â¾÷Àº »ï¼ºÀüÀÚÀÎ °ÍÀ¸·Î È®ÀεƴÙ.
°í¼øµµ ºÒȼö¼Ò´Â ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀÎ ½Ç¸®ÄÜ¿þÀÌÆÛ¿¡ ±×·ÁÁø ȸ·Îµµ¿¡ µû¶ó ±âÆÇÀ» ±ð¾Æ³»´Â ½Ä°¢ °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â ÇٽɼÒÀç´Ù.
ÀϺ» Á¤ºÎ´Â Áö³´Þ 4ÀÏ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò, Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å, ±ØÀڿܼ±(EUV) ÆÄ¿îµå¸®¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤Àç) µî 3°³ Ç°¸ñ¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ½É»ç¸¦ °ÈÇß´Ù. ÀÌÁß Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¸ Áö³ 7ÀÏ°ú 19ÀÏ µÎ Â÷·Ê ¼öÃâÀ» Çã°¡ÇØ Çѱ¹¿¡ ¹ÝÀԵƴÙ. ºÒȼö¼Ò ¼öÃâÀÌ Çã¿ëµÈ °ÍÀº À̹øÀÌ Ã³À½À¸·Î ¸Å¿ì ÀÌ·ÊÀûÀÌ´Ù.
±Çº´Âù ±â»ç ´õº¸±â
kbc77@hanmail.net